Zariadenie na suché leptanie

Detaily obstarávania

Obstarávateľ:

Elektrotechnický ústav SAV

Typ obstarávania:

Tovary

EU fondy:

Áno

Odhadovaná suma(Bez DPH):

62 453,24

Mena:

EUR

Hlavný CPV kód:

22520000-1

Elektronická aukcia:

Nie

Rámcová dohoda:

Neuvedené

Postup:

Dátum vyhlásenia:

22. Máj 2015

Lehota na predkladanie ponúk:

11. Jún 2015

Dátum otvárania ponúk:

11. Jún 2015

Ponuka musí platiť do:

Dátum neuvedený

Miesto otvárania ponúk:

Ďalšie info ku otváraniu ponúk:

Rozdelenie na časti:

Nie

Zrýchlený postup:

Neuvedené

Dohoda o vládnom obstarávaní:

Neuvedené

Opakované obstarávanie:

Neuvedené

Chránená dielňa:

Nie

Chránené pracovné miesto:

Neuvedené

Elektronické objednanie:

Neuvedené

Elektronická fakturácia:

Neuvedené

Elektronické platby:

Neuvedené

Ponuky vyhodnotené podľa

Kritérium:

Najnižšia cena

Detailné kritéria vo vestníku chýbajú

Opis obstarávania

Jednoduché zariadenie pre tvarovanie tenkých vrstiev kremíka, oxidov, nitridov a bežne používaných kovov anizotropným leptaním s využitím reaktívnych iónov (Reactive ion etching, RIE). Minimálne technické parametre: veľkosť vzorky min. 100 mm, výkon min. 100W pri frekvencii 13,56 MHz, možnosť nastavenia vákua pomocou prietokového ventilu, plynové prívody s prietokomermi pre min. 3 plyny. V cene zariadenia bude inštalácia a testovanie v reálnej prevádzke.

Doplňujúce informácie

Vo vestníku neboli nájdené doplňujúce informácie.