Opis obstarávania
Predmetom zákazky je obstaranie komponentov na stavbu zariadenia a obstaranie služieb výskumu a vývoja, ktoré spolu
vytvárajú jednu sadu vzájomne súvisiacich častí riešenia výskumnej úlohy a to:
A) Obstaranie komponentov na stavbu zariadenia pre povrstvovanie dielov: elektronika + napájacie zdroje, ktoré
pozostávajú z automatického zálohovacieho napájacieho zdroja so zvýšenou redundanciou. Dodávka pozostáva z dvoch
samostatných motor-generátorových jednotiek, ktoré sú plne samostatné a každá je schopná dodávať požadovaný
plánovaný výkon. Vzájomne sú ale riadiacim elektrickým obvodom, ktorý je tiež súčasťou dodávky, tak zapojené, že po
nábehu zdroja do činnosti beží iba jedna jednotka, a iba v prípade jej poruchy sa automaticky zapína druhá jednotka.
Minimálna požadovaná zostava a parametre:
-dodávaný výkon 2 x 60 kVA, 50 Hz, 3 fázy, 400 V
-2 ks naftový 4-valcový turbo-motor s objemom menším ako 5 l a spotrebou paliva menšou ako 0,26 l paliva/kWh s
kvapalinovým chladením a odvodom výfukových plynov s tlmičom, vybavený elektrickým štartérom so štartovacím
akumulátorom,
-2 ks 3-fázový generátor, synchrónny bezkefový, s vlastným budením a automatickou reguláciou výstupného napätia
1/7
prostredníctvom regulácie budiaceho prúdu rotora generátora,
-2 ks oceľové rámy pre umiestnenie uvedených motor-generátorových jednotiek,
-nádrž na palivo pre minimálne 8-hodinovú prevádzku,
-riadiaca elektronika pre riadenie jednotiek a pre automatické zapínanie druhej jednotky v prípade poruchy prvej
jednotky
B) Obstaranie zmluvného výskumu výskum a vývoj zariadenia pre stanovenie ľubovoľnej orientácie kryštálu VGF GaP
komponentov, ktoré v sebe zahŕňa:
-vypracovanie spôsobu určenia kryštalografickej orientácie kryštálu VGF GaP, ktorá je ľubovoľná, t.j. pred meraním nie
je známa ani približne, na báze difrakcie RTG žiarenia, pričom meraný materiál môže byť monokryštál v rôznom tvare
ako napr. ingot, odrezok ingota, substrát, alebo polykryštál obsahujúci monokryštalické zrná rôznej veľkosti a rôznej
orientácie, ktorý bude použitý napr. na výrobu zárodkov pre monokryštalický rast,
-vyvíjané zariadenie bude pozostávať minimálne z dvoch pracovísk, z ktorých prvé pracovisko bude určené pre
stanovenie kryštalografickej orientácie objemového materiálu ako napr. ingota resp. časti ingota pred jeho ďalším
spracovaním, a druhé pracovisko bude určené pre kontrolu kryštalografickej orientácie spracovaného materiálu VGF GaP
ako napr. substrátov VGF GaP,
-prvé uvedené pracovisko bude ďalej spĺňať nasledovné požiadavky: 1) materiál VGF GaP môže byť meraný samostatne
alebo spolu s držiakom, pričom váha meraného celku môže byť max. 50 kg a jeho výška max. 300 mm, 2)
reprodukovateľnosť merania musí byť na úrovni 0,01° alebo lepšia, 3) doba jedného merania vrátane vyhodnotenia
kratšia ako 10 s,
-druhé uvedené pracovisko bude ďalej spĺňať nasledovné požiadavky:
1) zdroj RTG žiarenia spolu s príslušnou RTG optikou musí byť voči meranej vzorke polohovateľný v rozsahu uhla
dopadu -20° až +120°, a detektor spolu s príslušnou optikou musí byť voči meranej vzorke polohovateľný v rozsahu
uhla odrazu -40° až +170°, 2) reprodukovateľnosť nastavenia týchto uhlov musí byť na úrovni plu/mínus 0,0001°
pričom tieto uhly musia byť merané optickým dekodérom priamo na zariadení (nie sprostredkovane cez meranie pohybu
motora resp. cez prevody), 3) požadovaná veľkosť vzorky je minimálne kruh o priemere 100 mm,
4) držiak vzorky musí umožňovať polohovanie vzorky v rovine XY v každej osi v rozsahu 100 mm za účelom mapovania
vzorky, jej rotáciu v rozsahu plus/mínus 360° a jej náklon v rozsahu plus/mínus 90°, 5) použitá optika musí umožňovať
meranie difrakcie a reflektivity vrátane hodnotenia kvality kryštalickej štruktúry v podpovrchovej oblasti ovplyvnenej
defektmi mriežky.
C) Obstaranie zmluvného výskumu výskum a vývoj zariadenia pre leštenie a epiready finalizáciu substrátov VGF GaP,
ktorý je bližšie špecifikovaný nasledovným popisom:
- vypracovanie spôsobov leštenia a epiready finalizácie substrátov VGF GaP, ktoré sú založené na procese chemickomechanického
leštenia jednotlivých substrátov s možnosťou stanovovania parametrov procesu pre každý substrát
samostatne,
- vyvíjané zariadenie bude pozostávať minimálne z dvoch pracovísk, ktoré budú navzájom identické, a ktoré budú slúžiť
pre výskum procesov pri použití rôznych chemických prostriedkov, pričom musí byť zabezpečené, aby sa tieto
prostriedky nemiešali a tak nemohli vzájomne ovplyvňovať výsledky,
- každé uvedené pracovisko bude obsahovať aspoň štyri nezávislé moduly pre leštenie a finalizáciu substrátov VGF GaP
o priemere min. 100 mm, pričom každý modul bude obsahovať komponenty pre nastavenie samostatných
prevádzkových parametrov modulu nezávisle od iných modulov. Pre nakladanie a vykladanie leštených substrátov z
jednotlivých modulov bude slúžiť inštalovaný robot, ktorý na začiatku pracovného cyklu vyberie substrát z kazety,
skontroluje uchytenie substrátu na kontrolnom stanovisku, následne vloží substrát do modulu, a po vyleštení ho vyberie
z modulu, opláchne od leštiacich pracovných roztokov, ofúka od prebytočnej kvapaliny, a vloží naspäť do kazety,
- modul pre leštenie a finalizáciu sa skladá z horenej upínacej hlavy, a z dolnej leštiacej hlavy. Horná hlava obsahuje v
vákuové upínanie substrátu, a počas leštenia vykonáva rotačný pohyb. Dolná leštiaca hlava je vybavená rozvodnými
kanálikmi leštiacej emulzie, prívodom kvapaliny pre oddelenie substrátu po ukončení leštenia, a počas leštenia vykonáva
výkyvný planetárny pohyb. Rýchlosť pohybov oboch hláv je vzájomne zviazaná a s plynule regulovaným nábehom,
pričom počas leštenia je možné nastaviť ich vzájomný prítlak.
