Funkčná špecifikácia
Prístroj musí umožňovať naprašovanie tenkých vrstiev kovov a uhlíka na vzorky pre elektrónovú mikroskopiu.; Prístroj musí obsahovať dvojicu nezávislých hláv nakonfigurovaných pre magnetrónové naprašovanie kovov a naparovanie uhlíkových vrstiev pomocou uhlíkových vlákien. Priestornou vákuová komora s rozmermi minimálne: šírka 130 mm x dĺžka 130 mm x výška 130 mm. Prístroj musí mať kovovú clonu pre tienenie naprašovacej a naparovacej hlavy ovládanú automaticky pomocou softwaru.; Ovládanie všetkých procesov musí byť pomocou integrovaného dotykového displeja s intuitívnym užívateľským rozhraním. Všetky procesy (naprašovanie, naparovanie) musia po zahájení bežať úplne automaticky vrátane čerpania a ventilovania vákua. Maximálna pracovná vzdialenosť stolíku od zdroja aspoň 100 mm.; Zostava musí obsahovať manuálny stolík s manuálnym nastavením výšky o priemere stolíku minimálne 80 mm a pre minimálne 18 štandardných (12,7 mm/1/2") SEM držiakov vzoriek. Zostava musí obsahovať planetárny stolík s automatickou rotáciou okolo osy stolíku a fixným náklonom 30°. Priemer stolíku minimálne 80 mm, obsahujúci minimálne 4 rotujúce planétky, kde každá umožňuje upevnenie minimálne 4 štandardných (12,7 mm/1/2") SEM držiakov vzoriek.; Prístroj musí obsahovať integrované meranie hrúbky naprášenej vrstvy v priebehu depozície kryštálom s automatickým ukončením procesu po dosiahnutí nastavenej hrúbky materiálu. Musí byť možnosť vypnutia kryštálu pri procese naprašovania a naparovania. Súčasťou dodávky musí byť minimálne 10 ks kryštálov. Rozlíšenie kryštálového merania musí byť minimálne 0,1 nm. Vnútorná komora musí byť jednoducho užívateľsky vyberateľná pre jednoduché čistenie alebo prípadnú výmenu bez zásahu servisného technika. Prístroj musí obsahovať USB port pre sťahovanie pracovným protokolov a nahrávanie aktualizácií.; Súčasťou dodávky musí byť externá rotačná výveva s olejovým filtrom a rýchlosťou čerpania minimálne 5 m3/h. Prístroj musí umožňovať vytvoriť vákuum aspoň 7x10-3 mbar. Rozmery prístroja bez vákuovej pumpy maximálne: šírka 300 mm x dĺžka 600 mm x výška 500 mm. Magnetrónová naprašovacia hlavu musí umožňovať vkladať terčíky o priemere 54 mm. Súčasťou dodávky musí byť jeden zlatý terčík pre naprašovanie. Výmena terčíka musí byť bez nutnosti použitia náradia.; Pristroj musí umožňovať prípadné naprašovanie ďalších materiálov: zlato/paládium, striebro, platina, meď, nikel a platina/paládium, protokoly týchto materiálov musia byť prednastavené v software prístroja. U naprašovania kovu prístroj musí umožňovať voľbu podmienok, pri ktorých je možné dosiahnuť pokrytie rovných, i štruktúrovaných vzoriek. Súčasťou procesu naprašovania musí byť automatické čištenie terčíka. Prístroj musí obsahovať hlavu pre naparovanie z uhlíkových vlákien.; Prístroj musí umožniť vytvorenie štyroch uhlíkových vláknových spojov naraz. U naparovania uhlíku prístroj musí umožňovať voľbu riadenia hrúbky vrstvy kvalitou vlákna, ktorá sa úplne prepáli, ale tak i počtom aplikovaných prúdových pulzov na vlákno. Jednotlivé pulzy musia zaisťovať nanesenie vrstvy uhlíka o hrúbke menšej ako 1 nm /1pulz. Súčasťou dodávky musí byť 25 m uhlíkového vlákna. Súčasťou procesu naparovania musí byť automatické odplynenie vláken.
Technická špecifikácia textová
Technická špecifikácia číselná
